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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备,其包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器;汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三;物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通;物料通道二与置换氮气管道连通;物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通;汇流切换控制系统包括:控制阀、压力表和控制器;控制阀和压力表分别设置在多个新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道、新鲜氢气管道、回收氢气管道和置换氮气管道上;控制器分别与控制阀和压力表连接;反应
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214192591 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202023343665.2
(22)申请日 2020.12.31
(73)专利权人 新疆大全新能源股份有限公司
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