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本实用新型公开了一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置,包括液氧汽化器,所述液氧汽化器的一侧贯穿安装有汽化运输管,所述液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵,所述气体加压泵的底部活动安装有活性炭吸附箱,所述活性炭吸附箱的另一侧活动安装有加热器,所述加热器的内部固定安装有流动管道,所述加热器的底部活动安装有支撑板。本实用新型通过在液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵,能够通过气体加压泵进行加压处理,接着利用活性炭吸附箱进行净化,然后利用加热器进行加热杀毒,接着利用干燥机进行干燥,最后利用冷凝器进
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219297157 U
(45)授权公告日 2023.07.04
(21)申请号 202320852979.X
(22)申请日 2023.04.17
(73)专利权人 大连华邦化学有限公司
地址 1
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