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本发明提供了一种老化测试系统。老化测试系统用于对芯片进行老化测试,老化测试系统包括:第一测试板,用于安装芯片;壳体,壳体位于第一测试板的下方且与第一测试板围绕形成容纳腔;第二测试板,第二测试板位于容纳腔内且与第一测试板电连接;散热板,位于容纳腔内且与壳体的内表面之间具有预设间隙,散热板包括第一配合部;降温装置,包括第二配合部和降温结构,降温结构用于对第二配合部进行降温;其中,第二配合部与第一配合部相接触,第一配合部用于将第二测试板上产生的热量传递至第二配合部上。本发明有效地解决了现有技术中老化测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113777473 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111124563.8
(22)申请日 2021.09.24
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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