- 1、本文档共17页,其中可免费阅读16页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种超结器件及其制造方法。该超结器件的制造方法,包括:在半导体衬底上形成外延层;在外延层中形成多个第一半导体柱;在外延层上形成牺牲叠层;以牺牲叠层作为第一硬掩模,在外延层中形成体区,体区具有与第一硬掩模对齐的第一边缘;在牺牲叠层的侧壁形成侧墙;以牺牲叠层和侧墙作为第二硬掩模,在体区中形成源区,源区具有与第二硬掩模对齐的第一边缘;去除牺牲叠层;以及在外延层上形成栅叠层,栅叠层横跨体区的第一边缘和源区的第一边缘,使得超结器件的沟道长度对应于牺牲叠层的侧墙厚度。该制造方法采用牺牲叠层的侧墙
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113782445 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111098970.6
(22)申请日 2021.09.18
(71)申请人 杭州芯迈半导体技术有限公司
您可能关注的文档
- 一种医疗重症医学临床用辅助固位装置.pdf
- 一种图像获取方法、装置、飞行器和存储介质.pdf
- 一种人骨畸形形态修复系统.pdf
- 一种无纺布增韧吸水性丙烯酸酯高分子材料及制备方法.pdf
- 用于成孔桩机的钻杆与动力头连接或脱开的装置及其方法.pdf
- 一种简便式液压阀.pdf
- 一种高精度自动定位CNC加工设备.pdf
- 家电用电路板电子元器件嵌入安装设备.pdf
- 一种基于埃洛石的复合型阻燃剂及其制备方法.pdf
- 一种日志输出方法、装置、设置及存储介质.pdf
- 浙江金华市公共资源交易中心永康市分中心编外人员招考聘用笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 浙江宁波慈溪市政协办公室招考聘用编外工作人员笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 浙江金华永康市西溪镇人民政府招考聘用笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 福建南平市公安局建阳分局招考聘用辅警笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 浙江嘉兴海盐县武原街道基层残疾人工作专职委员(公益岗位)招考聘用笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 浙江宁波知识产权保护中心招考聘用工作人员笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 浙江杭州建德市面向2024届普通高校毕业生招考聘用教师(第二批)16人笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 浙江省台州中学面向2024届普通高校毕业生招考聘用教师12人笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 湖北师范大学体育学院专任教师招考聘用笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
- 重庆市南岸区教育事业单位面向2024届高校毕业生招考聘用114人笔试历年典型考题及考点研判与答案详解.docx
文档评论(0)