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本发明提供一种晶圆的切割方法,包括:提供一待切割晶圆,所述待切割晶圆具有相对设置的混合键合表面和背面,以及连接所述混合键合表面和背面的侧壁,待切割晶圆包括多个待混合键合芯片以及位于相邻待混合键合芯片之间的切割道;将待切割晶圆的混合键合表面朝向所述载盘设置,且混合键合表面的至少大部分与载盘之间未接触,并对背面执行贴膜工艺;从混合键合表面沿切割道对待切割晶圆执行激光开槽工艺,以在混合键合表面形成网格状的槽孔;在槽孔中执行激光隐形切割工艺,以得到单个的待混合键合芯片。本发明通过步骤S2,即非接触贴膜可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113732525 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111033918.2 B23K 26/70 (2014.01)
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