用于激光加工装置的光束形成和偏转光学系统、以及使用激光束加工工件的方法.pdfVIP

用于激光加工装置的光束形成和偏转光学系统、以及使用激光束加工工件的方法.pdf

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本发明涉及一种用于激光加工装置的光束形成和偏转光学系统(1),其包括至少两个光学元件(2、3),所述光学元件在激光束(L)的方向(z)上一个接一个地布置并且由具有相应楔角(αi)的楔形件(5、6)形成,至少一个光学元件(2)连接到用于使所述光学元件(2)围绕光轴(c)旋转的驱动器,由此一个光学楔形件(5)可以相对于至少一个其他光学楔形件(6)旋转。本发明还涉及一种使用准直激光束(L)加工工件(W)的方法。为了在工件(W)上实现激光束(L)的不同形状,一个接一个地布置的每个光学楔形件(5、6)仅覆

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113557101 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202080020486.9 (73)专利权人 弗罗纽斯国际有限公司

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