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本实用新型涉及一种测试装置,所述测试装置包括测试机构和支撑座;所述测试机构包括向其一侧表面凸设的探针,所述探针用于与电子元器件接触测试;所述支撑座设于所述测试机构的另一侧表面;所述支撑座上开设有气流通道,所述气流通道被构造为供预设温度的气体流过以与所述测试机构换热。上述测试装置,将气流通道开设于支撑座上,当向气流通道内通入预设温度的气体时,通过测试机构间接传温于探针及芯片,相对于现有技术中将气流通道直接开设于测试机构的测试座上的方式,测试机构设有探针的位置不再镂空,即测试机构的测试座不再镂空,使
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219225012 U
(45)授权公告日 2023.06.20
(21)申请号 202320493119.1
(22)申请日 2023.03.08
(73)专利权人 杭州长川科技股份有限公司
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