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本发明公开了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,阵列基板包括衬底、第一金属层、缓冲层和半导体层,第一金属层包括源极、漏极和遮光部,缓冲层覆盖第一金属层,半导体层设于缓冲层上,半导体层通过贯穿缓冲层的第一过孔与源极电连接,半导体通过贯穿缓冲层的第二过孔与漏极电连接。本发明通过将源极、漏极与遮光部同层设置于衬底上,源极、漏极与遮光部可采用同一道黄光制程形成,减少了光罩数量和制程步骤,有利于降低成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113437090 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110650642.6
(22)申请日 2021.06.11
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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