原创力文档- 1、本文档共16页，其中可免费阅读15页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及硅片加工技术领域，特别是涉及硅片输送分散装置。硅片输送分散装置包括传送组件，传送组件能够对于硅片进行传送；夹紧组件，夹紧组件设于传送组件的两侧，夹紧组件和传送组件之间形成能够容置硅片的容置区，夹紧组件能够夹紧并传送硅片；及，喷水组件，喷水组件设于夹紧组件上，传送组件与夹紧组件配合能够将硅片传送至传送组件靠近喷水组件的一端，喷水组件能够对硅片吹水，以使硅片与相邻的硅片分离。本发明的优点在于：依靠夹紧组件夹紧硅片，能够使得硅片之间存在间隙而不相互抵靠，在吹水分片时容易将硅片分开，而且硅片不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113394150 B
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202110882181.5 (51)Int.Cl.
文档评论（0）