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本发明涉及红外光学镀膜技术领域,提供一种ZnSe基底10.3‑10.9μm高强减反膜,膜系结构为G/100L1010H901L10H933L10H/A;本申请还提供了一种ZnSe基底10.3‑10.9μm高强减反膜的镀制方法,采用APS离子源高能量辅助和基底加热镀膜的方式。本申请的有益效果为:ZnSe基底两面镀制本申请的高强减反射膜后,10.3μm~10.9μm平均透过率达到99%以上;并且满足JB/T8226.1‑1999光学零件镀膜标准中对抗磨强度、恒定湿热、低温、盐雾环境试验的要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113341487 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110617201.6
(22)申请日 2021.06.03
(71)申请人 河南
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