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本发明提供一种基板处理系统及装置、切换定时制作辅助装置及方法,可提高处理的切换定时的精度。基板处理系统具备基板处理装置和具备获取部、选定部、决定部以及输出部的切换定时制作辅助装置。使基板处理装置基于制程来执行对基板的处理,获取部从在处理的执行期间针对基板处理装置内的气体中包含的包括原子和分子的粒子的每个性质测定气体中包含的粒子的量的测定器获取粒子的量的测定值。选定部在粒子的性质之中按照粒子的量的随时间的变化量从大到小的顺序选定预先确定的数量的粒子的性质。决定部基于选定出的粒子的每个性质的粒子的量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113327849 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110191901.3
(22)申请日 2021.02.19
(30)优先权数据
2020-0336
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