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本申请涉及芯片测试设备技术领域,尤其是涉及一种传送轴及半导体测试设备。传送轴包括同轴设置的传送轴主体、联轴器和转接轴,联轴器用于穿设于测试腔室的侧板上,传送轴主体位于测试腔室内并与联轴器的一端相连接,转接轴位于测试腔室外并与联轴器的另一端相连接,且转接轴为塑料转接轴。通过将传送轴分为通过联轴器连接的两段,使得传送轴主体和转接轴可以选用不同的材质,比如位于测试腔室内的传送轴主体可以选用强度较好且具有良好地耐高低温性能的钢件,而位于测试腔室外的转接轴则选用导热性能较差的塑料件,从而使传送轴主体上的低
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219193370 U
(45)授权公告日 2023.06.16
(21)申请号 202320043744.6
(22)申请日 2023.01.05
(73)专利权人 杭州长川科技股份有限公司
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