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本申请提出了一种多故障模式下基于知识蒸馏的晶圆制造过程故障检测方法，涉及晶圆制造过程故障检测技术领域，其中，该方法包括：获取历史故障数据，并根据历史故障数据中故障的出现频次，确定常见故障类型和罕见故障类型；基于常见故障类型的监测数据，使用域自适应神经网络减小不同机台间的数据分布差异，以构建常见故障检测模型；构建罕见故障检测模型，获取常见故障检测模型在罕见故障数据训练集上的输出软标签，使用知识蒸馏方式，借助输出的软标签和数据真实标签优化罕见故障检测模型。本发明实现通过知识蒸馏方法，跨故障模式进行知
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113269266 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110637674.2
(22)申请日 2021.06.08
(71)申请人 清华大学
地址 10
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