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一种新型的芯片加工用晶圆固定夹具.pdf

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    本发明涉及芯片加工技术领域，且公开了一种新型的芯片加工用晶圆固定夹具，包括安装座和固定吸盘，所述安装座顶部固定连接有固定吸盘，固定吸盘底部固定连接有抽吸管道，安装座内部开设有抽吸腔，抽吸腔内壁活动连接有推移板，推移板外侧固定连接有磁铁块，磁铁块外侧固定连接有复位弹簧，安装座内部固定连接有第一电磁铁，安装座外侧固定连接有固定侧板。该新型的芯片加工用晶圆固定夹具，弹性包覆层受到晶圆挤压后变形，将电流变液推压至填充腔内，将电介质推板向下推移，正极板和负极板的接通，从而控制外加电场的通电，使得电流变液从

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112782937 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202011622694.4 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 赵云 地址 1240

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