微通道板打拿极导电层ALD 制备技术研究进展Research Progress of ALD Preparation Technology for Dynode Conductive Layer of Microchannel Plate-来源:应用物理(第2021001期)-汉斯出版社.pdfVIP
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Applied Physics 应用物理, 2021, 11(1), 25-35
Published Online January 2021 in Hans. /journal/app
/10.12677/app.2021.111004
微通道板打拿极导电层ALD制备技术研究进展
姜柱松,王国政
长春理工大学理学院,吉林 长春
收稿日期:2020年12月17 日;录用日期:2021年1月18 日;发布日期:2021年1月25 日
摘 要
微通道板是具有高长径比结构的二维通道电子倍增器,在微光夜视领域有广泛
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