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本发明提供一种单晶炉的组合套筒及单晶炉,所述组合套筒包括:内筒、外筒、环形底盘和套管,所述内筒呈倒锥形,所述内筒的上端与所述外筒的上端连接,所述外筒的下端与所述环形底盘的外缘部密封连接,所述内筒的下端与所述环形底盘的上表面固定连接,所述套管穿设固定于所述环形底盘的环口内。根据本发明实施例的组合套筒,在保持硅熔液固、液气三相交界点稳定的前提下,保证惰性气体有序稳定地从硅熔液表面掠过,在带走一氧化硅气体的同时,可以使硅熔液部分热量向晶棒表面传输,减小了晶棒下端的边缘轴向温度差以及边缘轴向温度差与中心
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114197034 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202010909017.4
(22)申请日 2020.09.02
(71)申请人 西安奕斯伟材料科技有限公司
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