键合结构和功率器件CN115799199A.pdfVIP

权利要求书1页 说明书12页 附图6页 发明名称 键合结构和功率器件 摘要 本申请实施例提供一种键合结构和功率器 件，包括第一功率单元以及至少两根键合线；键 合线的至少一端与第一功率单元键合相连，至少 两根键合线的引线路径在预设平面内的投影具 有至少一个交点。本申请通过将键合线进行空间 交叉打线的方式，使得键合线的引线路径之间互 成角度，削弱键合线之间的电磁相互作用力，进 而缓解键合线的受力疲劳，延长键合线的使用寿 命，并在最大程度上确保键合效果。 A 9 9 1 9 9 7 5 1 1 N C CN 115799199 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种键合结构，其特征在于，包括第一功率单元以及至少两根键合线； 所述键合线的至少一端与所述第一功率单元键合相连，至少两根所述键合线的引线路 径在预设平面内的投影具有至少一个交点。 2.根据权利要求1所述的键合结构，其特征在于，所述键合线的一端键合连接在所述第 一功率单元上，另一端键合连接在所述第一功率单元的外部。 3.根据权利要求1所述的键合结构，其特征在于，所述键合线的两端都键合连接在所述 第一功率单元上，所述预设平面为所述第一功率单元所在平面。 4.根据权利要求2所述的键合结构，其特征在于，还包括第二功率单元，所述键合线的 一端键合连接在所述第一功率单元上，另一端键合连接在所述第二功率单元上。 5.根据权利要求1‑4中任一项所述的键合结构，其特征在于，至少两根所述键合线的引 线路径在所述预设平面内的投影具有一个交点。 6.根据权利要求1‑4中任一项所述的键合结构，其特征在于，至少两根所述键合线的引 线路径在所述预设平面内的投影具有多个交点。 7.根据权利要求1‑6中任一项所述的键合结构，其特征在于，所述第一功率单元上具有 至少两个键合点，至少两根所述键合线一一对应的与至少两个所述键合点键合连接。 8.根据权利要求5‑7所述的键合结构，其特征在于，所述键合线包括多根，任意两根所 述键合线的引线路径在所述预设平面内的投影具有至少一个交点。 9.根据权利要求5‑8所述的键合结构，其特征在于，多根所述键合线形成多个键合单 元，所述多个键合单元沿至少两个所述键合点的排布方向间隔排布。 10.根据权利要求9所述的键合结构，其特征在于，每个所述键合单元中的至少两根所 述键合线的引线路径在所述预设平面内的投影均具有至少一个交点； 或，多个所述键合单元中的至少一个所述键合单元中的至少两根所述键合线的引线路 径在所述预设平面内的投影具有至少一个交点，其余所述键合单元中的至少两根所述键合 线的引线路径在所述预设平面内的投影没有交点。 11.根据权利要求9所述的键合结构，其特征在于，多根所述键合线中的至少三根所述 键合线形成键合单元； 至少三根所述键合线中的至少两根所述键合线的引线路径在所述预设平面内的投影 没有交点，另一根所述键合线的引线路径与所述至少两根所述键合线的引线路径在所述预 设平面内的投影均具有至少一个交点。 12.根据权利要求1‑4中任一项所述的键合结构，其特征在于，所述第一功率单元为第 一基板；或，所述第一功率单元为第一晶圆；或，所述第一功率单元包括所述第一基板和设 置在所述第一基板上的所述第一晶圆，所述键合线与所述第一晶圆键合连接。 13.根据权利要求4所述的键合结构，其特征在于，所述第二功率单元为第二基板；或， 所述第二功率单元为第二晶圆；或，所述第二功率单元包括所述第二基板和设置在所述第 二基板上的所述第二晶圆，所述键合线与所述第二晶圆键合连接。 14.一种功率器件，其特征在于，包括上述权利要求1‑13中任一项所述的键合结构。 2 2 CN 115799199 A 说　明　书 1/12页 键合结构和功率器件 技术领域 [