厚薄膜相关材料和器件第一章导言.ppt

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厚薄膜相关材料和器件第一章导言;引言;;薄膜;厚膜;;不同类型的材料及其器件;第一章 绪论 ;一、引言;;在信息显示技术中的应用;在信息产品中的应用;在计算机技术中的应用;在计算机技术中的应用;在信息存贮技术中的应用;在日常生活中的应用;薄膜科学的研究内容:;二、基本概念;表面成核; 薄膜生长的宏观特征; 薄膜生长的微观特征;薄膜生长初期的岛;薄膜的薄膜形貌;薄膜晶体生长与温度的关系;薄膜形貌与生长条件的关系;;入射原子动能的变化;不同入射能量下基片温度的变化;不同温度下薄膜的生长特征;三、薄厚膜的研究现状及发展趋势;(1)新型半导体薄膜 以非晶硅氢化物(a-Si:H)和非晶硅基合金膜 (a-SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN:H)为代表。为 太阳能电池、显示、传感、探测、发光材料等。 (2)超硬宽带隙薄膜 金刚石、氮化物等。窗口材料、紫外探测等。 (3)纳米薄膜 发光材料、光电存储等。 (4)超晶格和量子井薄膜 发光元器件、激光、探测器等。 (5)光电子薄膜 光致发光、电致发光器件。 (6)介质薄膜、超导薄膜、巨磁阻薄膜 探测、存储、传感等元器件。; 厚膜材料的研究现状 厚膜材料是技术性非常高的材料,材料的各种物理特性和材料的配方密切相关。目前研究开发的厚膜元器件主要有: (1)厚膜导体材料 (Thick Film Conductors) (2)厚膜电阻 (Thick Film Resistors) (3)厚膜电位计 (Thick Film Potentiometers) (4)厚膜压敏电阻 (Thick Film Varistors) (5) 厚膜热敏电阻 (Thick Film PTC/NTC Thermistors) (6) 厚膜介电材料 (Thick Film Dielectrics) (7)厚膜电感器 (Thick Film Inductor)

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