四探针测试仪测量薄膜的电阻率.pdf

下载文档

188
0
约1.23万字
约 11页
2022-05-17 发布于北京
举报
版权申诉
保障服务

四探针测试仪测量薄膜的电阻率.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读4页，需付费60金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

材料电阻率的测量（四探针法）一、实验目的 1、掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法； 2 、了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。二、实验仪器采用RTS-5 型双电测四探针测试仪（含：直流数字电压表、恒流源、电源、 DC-DC 电源变换器）。三、实验原理电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法，在半导体工艺中最为常用。 1、半导体材料体电阻率测量原理在半无穷大样品上的点电