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10 Electron Backscatter Diffraction
of Aluminum Alloys
David P. Field and Mukul Kumar
CONTENTS
10.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 520
10.2 EBSD System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 522
10.2.1 SEM/Electron Source Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 522
10.2.1.1 Electron Beam Integrity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 522
10.2.1.2 Sample Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 523
10.2.1.3 SEM Port Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 523
10.2.2 Mechanical Interface/Phosphor Screens . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 523
10.2.3 Camera System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 524
10.2.4 Brief Overview of the Physics and Mathematics of EBSD. . . . . . . . . . . . . . . 525
10.2.5 Automated Band Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 527
10.2.6 EBSD Image Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 528
10.3 Multi-Phase Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 529
10.3.1 Phase Discrimination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
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