2020年电子级氢氟酸行业研究报告.pdf

电子级氢氟酸行业研究报告 2020年 Copyright© 简版 内部资料，仅供会员学习使用 目录 1 电子级氢氟酸概况 2 电子级氢氟酸产业分析 目录 3 电子级氢氟酸市场分析 4 电子级氢氟酸企业分析 5 行业发展趋势 Copyright© 内部资料，仅供会员学习使用 湿电子化学品  电子级氢氟酸按大的品类来讲属于湿电子化学品。湿电子化学品为微电子、光电子湿法工 艺制程中使用的各种电子化工材料，是指主体成分纯度大于99.99% ，杂质离子和微粒数符 合严格要求的化学试剂。  湿电子化学品根据组成成分和应用工艺不同，可以分为通用湿电子化学品和功能湿电子化 学品。按应用领域划分主要集中在半导体、平板显示、太阳能电池等多个领域。 通用湿电子化学品 酸 溶剂 碱 高纯湿 清洗剂 电子化 稀释剂 等 学品 剥离液 显影液 蚀刻液 功能性湿电子化学品 Copyright© 内部资料，仅供会员学习使用 湿电子化学品分级  湿化学品的制备必须严格遵守国际半导体材料和设备组织（SEMI）的标准，SEMI根据应 用领域的不同制定了相应的超纯实际的要求等级，其中包含了对金属杂志、颗粒大小、颗 粒个数、适应IC线宽范围等指标做出了规定。G1等级属于低端产品，G2属于中低端，G3 属于中高端产品，G4和G5则属于高端产品。  根据下游行业的技术要求，半导体制造工艺用湿电子化学品一般在G3 级以上。半导体产 业分为集成电路和分立器件两大分支，根据工艺流程主要分为芯片设计、前段晶圆制作和 后段封装测试。前段晶圆制作是整个半导体制造的核心工艺，而其中光刻和蚀刻技术是晶 圆制作的关键技术，其所需的湿电子化学品的技术要求非常之高通常达到G3 ，G4 级以上。 美国SEMI提出的工艺化学品的国际标准等级 SEMI标准 C1(Grade1) C7(Grade2) C8(Grade3) C12(Grade4) Grade5 金属杂质/( μg/L) ≤100 ≤10 ≤1 ≤0.1 ≤0.01 控制粒径/μm ≤1.0 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.2 需双方协定 颗粒个数/ （个/mL ） ≤25 ≤25 ≤5 需双方协定 需双方协定 适应IC线宽*范围/μm ＞1.2 0.8~1.2 0.2~0.6 0.09~0.2 0.09 Copyright© Source ： 《微电子工业对超净高纯化学品的质量要求》