- 1、本文档共23页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
高纯溅射靶材行业研究报告
2020年
简版
目录
1 高纯溅射靶材行业概述
2 高纯溅射靶材产业链分析
目录 3 高纯溅射靶材市场分析
4 高纯溅射靶材企业分析
5 高纯溅射靶材未来发展趋势
Copyright ©
内部资料,仅供会员学习使用
高纯溅射靶材行业概述
溅射靶材简介
溅射属于物理气相沉积技术的一种 ,它是利用离子源产生的离子 ,在真空中经过加速聚集 ,
而形成高速度能的离子束流 ,轰击固体表面 ,离子和固体表面原子发生动能交换 ,使固体
表面的原子离开固体并沉积在基底表面的过程。
溅射靶材是在溅射过程中 ,高速度能的离子束流轰击的目标材料 ,它是沉积薄膜的原材料。
阳极 晶圆制造环节用靶材
薄膜基体 半导体用溅射靶材主要用于晶圆导电层及阻挡层
和金属栅极的制作
溅射靶材
导电层:主要用到铝、铜
磁场
阻挡层:主要用钛、钽等金属
溅射靶材 110nm以下制程主要采用铜、钽
阴极
Copyright ©
内部资料,仅供会员学习使用
高纯溅射靶材行业概述
溅射靶材种类
金靶材
铌靶材 银靶材
铝靶材 锌铝合金
铜靶材 硅铝合金
硅靶材 钼靶材 钨合金
Copyright ©
内部资料,仅供会员学习使用
高纯溅射靶材行业概述
高纯溅射靶材分类
类别 常用靶材(纯度5N) 主要用途 性能要求
技术要求最高:纯度 、尺寸 、集
半导体用靶材 钽/铜 钛 铝 金 镍/高熔点金属/铬 集成电路的关键原材料
/ / / /
您可能关注的文档
- 2020年轨道交通关键材料行业研究报告.pdf
- 2020年汽车行业研究报告.pdf
- 2020年汽车胶粘剂行业研究报告.pdf
- 2020年汽车轮胎行业研究报告.pdf
- 2020年汽车轻量化材料行业研究报告.pdf
- 2020年汽车涂料行业研究报告.pdf
- 2020年汽车尾气催化剂行业研究报告.pdf
- 2020年汽车线束行业研究报告.pdf
- 2020年汽车仪表板行业研究报告.pdf
- 2020年LED衬底材料行业研究报告.pdf
- 2024年05月山东交通职业学院招考聘用博士研究生50人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月安徽芜湖市弋江区老年学校(大学)工作人员特设岗位公开招聘2人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月山东东营河口区教育类事业单位招考聘用22人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月山东交通职业学院招考聘用100人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月山东威海职业学院招考聘用高层次人才2人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月安徽石台县事业单位工作人员33人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月山东滨州市博兴县事业单位公开招聘考察笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月安徽蚌埠固镇县湖沟镇选聘村级后备干部7人笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月山东省安丘市教育和体育局所属事业单位学校公开2024年招考232名工作人员笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
- 2024年05月山东临沂临港经济开发区工作人员(5人)笔试历年典型题及考点剖析附带答案含详解.docx
文档评论(0)