激光电化学微加工机理与实验研究-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

华 华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 I I 摘 要 激光电化学微加工技术是一种将激光加工技术与电化学加工技术相结合而形成 的一种复合微加工新技术，在 MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统) 中具有较广阔的应用前景。本学位论文以发展激光电化学微加工技术为目的，分别 对连续激光电化学和脉冲激光电化学微加工的机理与实验进行了较深入的探讨。 在溶液中连续激光与材料相互作用的热效应方面，针对激光加热溶液中物质时 存在的爆发沸腾这一复杂现象，根据连续激光的加热特点，提出了以设置溶液沸腾 换热系数来模拟爆发沸腾对温度场的影响，从而来求解溶液中物质温度场的简化处 理办法。在此基础上，建立了激光作用下溶液中物质的温度场分布求解模型。 为了更深入地理解连续激光电化学刻蚀金属的机理，对连续激光作用下固—液 界面的温度场分布进行了仿真研究。根据连续激光加热沸腾特点提出的温度场求解 简化处理办法，针对连续激光定点和扫描电化学刻蚀实验，采用有限元分析软件 ABAQUS 对溶液中连续激光加工的瞬态温度场分布进行了数值模拟。仿真结果表明， 激光定点加热达不到金属熔点但能使照射微区产生较大的温度梯度；激光扫描和溶 液的冷却作用大大缩小了热效应，使连续激光实现了脉冲激光的加热效果。 采用 808nm 半导体连续激光聚焦照射浸于硝酸钠溶液中的不锈钢，实现无屏蔽、 单步的激光电化学刻蚀金属。针对定点刻蚀中较为严重的横向刻蚀问题，通过激光 扫描的方法减小了刻蚀线宽、提高了分辨率，并得到线宽 62.5um 的图形。实验研究 半导体激光电化学微刻蚀金属工艺，对连续激光定点和扫描刻蚀的微观形貌进行分 析；同时，通过对连续激光加热溶液中物质温度场分布的分析，对半导体激光电化 学刻蚀金属的实验现象和工艺机理进行了较深入的探讨。溶液环境中激光加工的热 效应研究进一步证实了激光电化学刻蚀不锈钢是一个激光光热作用诱导电化学溶解 的复合过程。 根据高能量短脉冲激光加热溶液中物质产生爆发沸腾复杂现象的特点，提出了 以导热过程为主导机制来进行准分子激光加热溶液中物质的传热分析；同时研究了 准分子激光作用溶液中物质的光热效应对激光电化学刻蚀硅工艺的影响。采用激光 等离子体冲击波理论、空泡理论分析了脉冲激光电化学微加工过程中力学效应的特 点。同时，探讨了溶液中高能短脉冲激光加工的力学效应对脆性材料的去除机理； 在此基础上，建立了材料去除率的数学模型；并采用水下激光加工的实验进行了模 型验证，试验结果表明冲击力对脆性材料有较大的去除率。热－力学效应分析表明： II II 该复合工艺的热效应较小，力效应显著。 探索一种新的硅刻蚀工艺—准分子激光电化学刻蚀硅工艺。对高功率密度的准 分子激光电化学微刻蚀工艺进行一系列的工艺实验研究，并对激光加工的微观形貌 进行分析；同时，通过与激光直刻的比较，分析了复合工艺刻蚀质量和刻蚀速率的 特性。相比激光直刻，复合工艺获得较好的表面质量和较快的刻蚀速率。该复合工 艺同时包含三种刻蚀作用：激光直接刻蚀作用、电化学刻蚀作用和激光与电化学的 耦合刻蚀作用，其中激光直接刻蚀作用占主要部分。在耦合作用中，溶液中激光加 工的力学效应对材料的刻蚀作用很大。通过对准分子激光与溶液中靶材相互作用过 程的热－力效应分析，更深入地探讨准分子激光电化学工艺的刻蚀机理。从工艺原 理分析可知，该工艺在硅微结构的三维加工领域中有较大的应用潜力。 关键词：MEMS 热－力效应 激光 电化学刻蚀 实验研究 PAGE VI PAGE VI Abstract Laser electrochemical etching process, which is combined with laser machining process and electrochemical etching process, is a new compound etching technique. It has been found extensive applications in MEMS(Micro Electro Mechanical System) industry. To develop the technique of laser electrochemical etching process, in this dissertation, the mechanisms and experiments of continue laser and pulse laser electrochemical micromachining processes were furtherly studied. On the thermal effect of