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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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射频磁控共溅射!#$% ’() 纳米颗粒镶嵌
薄膜的光学性质!
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丁瑞钦 王 浩 于英敏 王宁娟 佘卫龙 李润华
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丘志仁 罗 莉 蔡志岗 $ % ’()*+ - . $/*+
!)(五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门 0122 )
)(中山大学超快速激光光谱国家重点实验室,广州 0!230 )
, )(香港中文大学电子工程系暨材料科技研究中心,新界,香港)
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
22! , ! 22! 4 2
应用射频磁控共溅射方法和真空退火方法制备了 纳米颗粒镶嵌薄膜 射线衍射实验结果表明,经
56789 -:; =
高温退火的薄膜中形成了面心立方闪锌矿结构的 纳米晶粒,晶粒平均直径为 — 吸收光谱展示了
5678 ! 0 , *
由于强量子限域引起的 — 的吸收边蓝移 室温光致荧光( )光谱显示了电子 重空穴激子与电子 劈裂空穴
!0 (? .@ A A
激子的近紫外和紫外双 谱峰以及深俘获态的 谱峰 对实验吸收边蓝移量与有效质量模型的蓝移量的悬殊差
.@ .@
别、俘获态 谱的形成以及 谱线的特征作了解释 应用激光 扫描技术测量了退火温度为 的复合膜在非
.@ .@ B 022C
共振条件下的光学非线性,结果表明,复合膜的非线性折射率系数和非线性吸收系数都比块材5678 相应的系数增
大了 个数量级 光学非线性系数增大主要起因于强量子限域效应
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