刻蚀标准作业指导演示.ppt

刻蚀标准作业指导书 1.目的 为了加强产线管理，确保制造过程中能够严格按照标准作业流程来操作，以 达到降低报废和提高效率。 2.适用范围 本规定适用于本公司太阳能电池产品在生产过程中对所有操作人员的管理。 3．职责 3.1生产部经理对此规定监督负责。 3.2生产制造部对此规定执行负责。 1.打开传递窗 相关夹具：无 操作提示：无 2.确认工序流程卡 相关夹具：装片盒 操作提示：整体沿传递窗底平行移动至传递窗边注意盒子与硅片的稳定 3.取出硅片放于桌上 相关夹具：装片盒 操作提示：双手将装片盒整体水平移至桌面轻拿轻放 4.关闭传递窗 相关夹具：无 操作提示：无 5.开启硅片盒盖 相关夹具：装片盒 操作提示：左手拿起一装片盒下盒开口处向上倾斜30°右手将上盒盖沿盒槽滑开取走上盒盖 6.取出硅片 相关夹具：装片盒 操作提示：右手托于装片盒开口处装片开口处向下倾斜30°让硅片滑入右手左手将下盒取走 7.翻整硅片 相关夹具:无 操作提示：将取出的硅片放于护垫上顺时针方向翻整硅片 8.叠放硅片 相关夹具：装片盒 操作提示：将翻整好的硅片轻放于另一个装片盒里不同的流程卡用夹板分开放的硅片要与装片盒的硅片重合成一体 9．取出硅片 相关夹具：装片盒 操作提示：右手托于装片盒开口处向下倾斜30°让硅片滑入右手左手将下盒取走 10.翻整硅片 相关夹具：无 操作提示：将取出的硅片放护垫上顺时针方向翻整硅片 11.上夹板 相关夹具：夹板 操作提示：保证夹板与为扩散面相夹 12．整理夹板 相关夹具：夹板 操作提示;整理夹板夹板与硅片四周重合 13.上夹具 相关夹具：夹板夹具家片架 操作提示：夹具将整理好的硅片及夹板夹在当中确认夹具四周与硅片夹具四周重合 14.紧夹具 相关夹具：夹片架 夹具 操作提示：确认螺母扭紧并扭紧辅助夹具 15.打开腔体门 相关夹具：无 操作提示：腔体处于大气状态 16.确认刻蚀机内部卡槽 相关夹具：无 操作提示：目视 17.放入夹具 相关夹具：夹具 操作提示：双手紧握夹具垂直放入腔体确认夹具与刻蚀机内部槽座吻合平稳 18.关闭腔体门 相关夹具：无 操作提示：确认腔体门已锁紧 19.开启工艺 相关夹具：无 操作提示：选择程序按下‘执行’键 20．工艺运行 相关夹具：无 操作提示：无 21.整理装片盒 相关夹具：装片盒 操作提示：将装片盒整理放回传递窗 22.刻蚀完毕 相关夹具：无 操作提示：刻蚀完毕蜂鸣提示按下‘确定’键 23.取出夹具 相关夹具：夹具 操作提示：垂直从腔体内取出夹具并放入夹片架 24.松夹具 相关夹具：夹具 操作提示：松开夹具螺母和辅助夹具螺母