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2017-07-25 发布于上海
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静电拉伸薄膜反射镜的面形分析

第4l卷第10期红外与激光工程 2012年10月 V01．41No．10 Infraredand Laser Oct．2012 Engineering 静电拉伸薄膜反射镜的面形分析张鹏1,2,3，金光2，马宏财2,3，张元。，钟兴z，贾学志z (1．长春理工大学空间光电技术研究所，吉林长春130022；2．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033；3．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：静电拉伸薄膜反射镜属于一种空间新概念超轻反射镜。成形控制是其关键技术，而面形分析是成形控制的基础。基于Karman方程分析了薄膜反射镜在均匀载荷作用下的面形，并推导了抛物面面形所需的非均匀载荷；对∞00mln口径薄膜反射镜进行了有限元建模，针对不同载荷作用下的薄膜拉伸面形进行了光机集成分析，反射镜中心挠度与理论计算吻合，反射镜在非均匀连续载荷作用下的波前差相对于均匀载荷作用降低了一个数量级，非均匀离散载荷下的面形也得到了改善。结果表明：薄膜反射镜在非均匀载荷下可以有效抑制像差并能控制薄膜成形。基于仿真结果设计了半解析薄膜反射镜成形控制的方法，为薄膜反射镜的成形控制提供了技术基础。关键词：薄膜反射镜；面形分析；非均匀载荷；成形控制中图分类号：TH751；TH703文献标志码：A onthe ofelectrostaticmembranemirror Analysisshape stretching Xuezhi2 ZhangPen912…，JinGuan92，MaHongcai2”，ZhangYuan2，ZhongXin92，Jia ofScienceand (1．SpaceOptoelectronicsTechnologyInstitute，ChangchunUniversity Technology，Changchtm130022，China Instituteof Mechanicsand of Optics，Fine 130033，China； 2．Changchun Physics，ChineseAcademySciences，Changchun 3．Graduate ofChinese of 100049，China) University AcademySciences，Beijing Abstract：ElectrostaticmembranemilTOrisa ultra mirrorfor stretching new—conceptlightweight space controlisthe surface isthebasisof appfication．Shape keytechnology，andshapeanalysis shaping contr01．Theofmembranemirror underuniformloadwere loads shapes applied weresolvedKarrn