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微悬臂梁传感器在环境检测中的应用_滕艳华
2011 30 4 (Transducer and Microsystem Technologies)
年第 卷第 期 传感器与微系统 5
微悬臂梁传感器在环境检测中的应用*
1 2
，
滕艳华 薛长国
(1． ， 232001 ;
安徽理工大学材料科学与工程学院 安徽淮南
2 ． ， 230027)
中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室 安徽合肥
: 、 、 ， 。
摘 要 微悬臂梁传感器以其实时 高灵敏度 非标记等优点 成为一种新型环境检测手段 介绍了微悬
， 、 ， ，
臂梁传感器的工作原理 包括其工作模式 读出技术 总结了其在环境检测等方面的研究动态 并对其在
环境检测领域的发展进行了展望。
: ; ;
关键词 微悬臂梁传感器 工作原理 环境检测
— — —
中图分类号:TP 215 文献标识码:A 文章编号:1000 9787 (2011)04 0005 03
Applications of microcantilever sensor in
*
environmental detection
TENG Yan-hua1 ，XUE Chang-guo2
(1． School of Material science and Engineering ，Anhui University of Science and Technology ，Huainan 232001 ，China ;
2． Key Laboratory of Mechanical Behavior and Design of Material of Chinese Academy
of Sciences ，University of Science and Technology of China ，Hefei 230027 ，China)
Abstract :As the advantages of real time ，high sensitivity ，label-free detection ，microcantilever sensor becomes a
kind of new-style environmental detection method． The principle of microcantilever sensor ，especially its working
mode and read out tech
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