溅射设备-SINGULUSTECHNOLOGIESAG.pdf

溅射设备 适用于光盘、半导体、太阳 能和3D基材 2 溅射设备 拥有20年以上的物理气相沉积专业技术 溅射技术概览 德国新格拉斯科技集团成立于 1995年，前身是德国莱 宝公司，其总部设立在德国莱茵-美茵地区，旗下的业 务分布全球。集团在不同的市场领域扮演着创新者和 积极的参与者，在光盘存储复制生产线方面处于世界 领先地位，共安装超过8000台设备。 集团旨在成为各个领域技术市场的领跑者，扩大后续 业务量，从而实现稳定的利润回报。为此，我们要在 合理利用资源的基础上为高效生产流程开发创新技 术，在巩固现有核心竞争力的同时拓展其他业务。集 团在结合工艺技术和科学解决方案与机械和设备工 程方面拥有丰富的经验。目前掌握真空技术、表面涂 层、热加工和其他相关化学和物理工艺步骤。 德国新格拉斯科技集团自 1995年成立后已售出超过 德国新格拉斯科技集团是著名的先进薄膜沉积设备制 8000台涂层设备，既可用于光盘复制，也可作为超高 造商，是业内值得信赖的合作伙伴，并保持着其在 真空涂层设备用于半导体和MRAM芯片生产所需的约 薄膜沉积技术方面的领先地位，推动着创新技术的发 0.2 nm的超薄层处理。此外，真空薄膜技术被运用到 展。 医学和汽车行业的现代传感技术，还可当作移动电话 技术的压电材料。 3 德国新格拉斯科技集团溅射技术的主要特点 > 与科学研究机构如Fraunhofer, Inplas合作 > 垂直和水平基材运送系统 > 超过20年的溅射经验 > 多样化的磁电管溅射，如DC, 脉冲DC, 双极和 > 全球共安装超过8000台溅射设备 and RF等 > 高产量，高稼动率 > 模块化工艺腔配置 > 内部阴极设计 > 磁电管开发 新市场定位/开拓新业务 > 溅射过程模拟 > 内部溅射实验室设备 德国新格拉斯科技集团的核心竞争力在于真空薄膜、 > 内部软件开发 等离子体技术、湿法化学处理和热加工技术。 市场 能源 娱乐 移动业务 半导体 消费品 > 太阳能 > 光盘 > 自动化 > MRAM > 自动化 > LED > OLED > 电子产品 > 磁学 > 装饰性 > E存储 > 装饰 > RFID > 压力 > 功能性 > 电池 > 玻璃 > MEMS > 显示器 > 传感器 4 垂直运输基材的在线溅射设备 适用于不同应用的模块化设备 VISTARIS 溅射设备 标准性能数据 德国新格拉斯科技集团为满足光伏产业的需求研发了 > 标准溅射材料如 ITO, AZO, CuGa, Cu, In, AZO, VISTARIS设备，这类在线式溅射设备对如今的CIGS & i-ZnO等 CdTe薄膜电池生产起着重要的作用。凭借先进的工艺 > 集成供电设计 技术，VISTARIS能够在提高薄膜电池效率的同时降低 > 不需来回运输 生产成本。在光伏技术方面，集团开发并制造的镀膜 > 完全垂直定向运输 设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。