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柔性玻璃功能涂层沉积系统技术参数 一、 柔性玻璃功能涂层沉积系统功能和用途 本套设备将用于有机半导体材料（OLED/PLED）、太阳能电池原理型器件（Solar Cell）的加工、制备和表征的研究工作。 二、 系统概述 基本构成：主要由1套真空腔室、1套真空系统和1套镀膜控制系统连接而成。 使用功能：用于薄膜太阳能电池材料的沉积 三、 详细技术参数： 沉积系统要求为PC控制，包括沉积过程的控制、显示装置，可以显示膜厚、沉积时间、等信息； 1、系统设置和控制系统： 1.1基于windows操作系统，通过PC进行设置和控制； 1.2安全性能设计符合CSA SPE-1000标准； 1.3设有手动和自动两种镀膜操作模式； 1.4系统集成有安全互锁机构和报警装置； 1.5一体化、紧凑化设计，外观整洁，可独立使用也可与手套箱集成后使用； 1.6不同账户的安全模式。 2、沉积腔室： 2.1矩形蒸镀腔室，尺寸不小于400x400x500mm； 2.2前门为铰链式结构，带有安全互锁并带有手动锁死装置； 2.3腔室抛光处理并安装有隔离墙装置； 2.4前门带有观察窗，炮筒式设计结构，高度与样品台等高； 2.5预留有Loadlock接口，方便后期升级。 3、真空系统： 3.1 前级安捷伦机械泵，气体抽速不低于10cfm； *3.2德国普发分子泵，抽速不低于685l/s，配有Inficon Pirani真空规及计算机控制显示功能； *3.3极限真空度：系统洁净、空置时可达到5x10-7Torr ； 3.4真空系统及气路控制阀均采用VAT品牌阀； 4、溅射源的设计和安装： *4.1系统安装2个3英寸溅射靶枪，预留2个靶枪安装位置；溅射靶枪与样品台距离可调节，最高距离超过20cm； *4.2配备1个1200w DC电源，1个600w RF电源； 4.3安装2个QCM镀膜速率检测探头，带有水冷功能，可实现手动和自动控制； 4.4安装2个溅射源挡板； 4.5安装1个样品台挡板； 5、样品台的设计： 5.1可以固定或安装直径100mm或4’’的样品或其它异形样品，兼容小尺寸样品； *5.2样品台为可方便更换掩模板的插拔式设计；带有样品台上下调节装置，可调节范围100mm； 5.3样品台带有可以固定安装样品的装置； 5.4样品台带有旋转功能，可调节范围0-50RPM； 6、沉积控制装置： 6.1镀膜操作分手动和自动两种模式，能预设参数，并能将相关操作进行储存，方便以后查询和调用，也可以导到电脑中进行保存。 *6.2带有1套PC装置；通过PC进行控制，全PC控制和设置模式，带有 Inficon镀膜控制器及镀膜控制软件； 四、 交货期：合同签订后的5个月发货。 五、 保修期：设备验收合格后1年。 备注：由于本实验工作对薄膜的均匀性、厚度的精度和平整度有较高要求，因此对该沉积系统的核心参数有较高要求，带有星号的参数为重点关注部分，不得偏离。