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流化床法制备粒状多晶硅研究进展
陈其国1高建 2
1.江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004
2.天津工业大学,天津200387
[关键词]多晶硅;流化床法;粒状硅;进展
[摘要]综述流化床法制备粒状多晶硅的发展概况,探讨涉及的工程技术和目前研究的方向。
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